Russische Wissenschaftler des Forschungszentrums für Oberflächeneigenschaften- und Vakuumforschung in Moskau haben ein Etalon entwickelt, nach dem man die Maßgenauigkeit von Messgeräten für Längenmessungen im Mikro- und Nanobereich von 1 Nanometer bis zu 1 Mikrometer prüfen kann.

Die Entwickler können auf der glatten Oberfläche eines Silizium-Kristalls mit atomarer Genauigkeit Reliefzeichnungen schaffen, deren charakteristische Linien eine genau definierte Breite und Tiefe sowie einen entsprechenden Abstand zueinander haben, die als Etalon für die elektronische und die Atomkraftmikroskopie dienen. Die neuartige Technologie ermöglicht es, Linien mit einer Breite von 5 nm zu schaffen - ausländische Analoga nur das Zwanzigfache davon.

In der modernen Mikro- und Nanoelektronik verwendet man schon heute Mikroschaltkreiselemente mit minimalen Abmessungen von 45 nm und in den nächsten 10 Jahren werden die Abmessungen auf 10 nm reduziert. Deshalb sind nicht nur die entsprechenden Messgeräte, sondern auch Möglichkeit zur Gewährleistung der Maßgenauigkeit notwendig.

Agentur "Informnauka"

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